株式会社 チーバック

〒619-0237京都府相楽郡精華町光台1-7

けいはんなプラザラボ棟

TEL:0774-39-7928　 FAX:0774-39-7948

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水晶振動子膜厚計

·　振動周波数：６MHｚ

·　水晶外径：14mm

·　接続フランジ：ICF70

·　冷却シュラウド（水圧＜0.3MPa）

·　真空中長さ可調

·　ベーキング温度：200℃（最大）

·　電気端子：BNC

·　圧縮空気駆動シャッター（オプション）

コントローラー

·　測定チャンネル数：6

·　周波数分解能：0.03Hz

·　膜厚測定分解能：0.1Å

·　膜厚レート測定分解能：0.1Å /s

·　液晶タッチパネル操作

·　遠隔操作：RS232、RS485

·　プログラム編集による多層膜制御可能