PEEMSpector

特徴：

小型：直径 66 、長さ２２６、接続フランジ ICF114

操作簡単、高性能、低コスト

空間分解能＜３０　 nm

超高真空対応、全体 150 ℃までベーク可能

装置全体の小型化により、移動は簡単になる。完全静電型レンズを採用し、 投影レンズ の一つのツマミにより視野を 5 μm か ら 5 00μm まで簡単に切り替えられる。